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基于豐富的產(chǎn)品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。 -
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集團(tuán)成員
ENJC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器
產(chǎn)品描述
3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器
JC48B_JC系列半導(dǎo)體機(jī)器人
- 采用閉環(huán)伺服控制
- 晶圓固定方式：真空吸附
校準(zhǔn)晶圓尺寸
Φ100-Φ200mm
校準(zhǔn)精度
晶圓中心：±0.1mm
晶圓缺口：±0.1°
校準(zhǔn)時(shí)間
3sec
關(guān)鍵詞：
新時(shí)達(dá)眾為興JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器
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